多氟多进入国际领先半导体制造供应体系
已有人阅读此文 - -5月19日,多氟多新材料股份有限公司发布公告称,多氟多正式进入台湾积体电路制造股份有限公司南京工厂(以下简称“台积电”)合格供应商体系。这标志着半导体行业关键原材料的国产化再下一城。当日多氟多董事长李世江接受了中国化工报记者的独家专访。
台积电是全球规模最大的半导体企业之一,代表着世界半导体工业的最高水平。李世江表示,在经过台积电严格细致的文件审查、现场审核和多轮上线测试后,多氟多正式进入台积电合格供应商体系,目前已经开始向台积电(南京)有限公司批量交付高纯电子化学品材料。
电子级氢氟酸是电子化学品中的重要组成部分,主要用于集成电路和超大规模集成电路芯片的清洗和刻蚀工序。多氟多生产的电子级氢氟酸品质达到UPSSS级,产品纯度达到PPT级,是目前半导体用电子级氢氟酸的最高级别。
李世江表示,世界高端半导体市场长期以来被国外企业所垄断,我国半导体产业发展的关键设备和八成以上的关键原材料长期依赖进口,严重影响了我国半导体产业的健康有序发展。自2015年开始,多氟多以半导体市场8英寸客户为起点,不断研究新技术、开拓新市场,以电子级氢氟酸为代表的高纯电子化学品接连取得重要突破,并逐渐被国内国外的半导体龙头企业所认可和使用。
据了解,自2018年开始,多氟多的高纯电子化学品相继成功进入美国、韩国等全球领先半导体公司的供应链,并逐步大批量供应国内多条8英寸和12英寸半导体芯片产线。同时,多氟多电子级硅烷产品已开始供应台积电台湾工厂,中芯国际、海力士、长鑫存储等半导体企业都已开始测试。
为更好地满足半导体产业对电子化学品持续增长的需求,多氟多正在建设年产3万吨超净高纯电子级氢氟酸、年产3万吨超净高纯湿电子化学品、100吨高纯乙硅烷、100吨高纯氟氮混合气、300吨高纯四氟化硅等项目,今年下半年将陆续建成投产,并根据市场情况逐步释放产能。
李世江表示,站在能源革命和数字化革命的交点上,聚焦攻克“卡脖子”难题,经过“十年磨半剑”的技术创新积淀,多氟多进入了健康发展的快车道。