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牌号简介 About |
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Dyneon全氟弹性体化合物PFE 7403WZ是一种专利聚合物填充高温全氟弹性体,专门设计用于半导体应用。它在300°C的连续高温下具有优异的物理性能,并能抵抗含氧和含氟等离子体环境。特殊功能专利75邵尔A白色化合物,设计用于高温应用连续工作温度>300°C,低颗粒生成,低重量损失,低排气,高纯度,优异的抗腐蚀性氟化等离子体,低长期压缩永久变形,优异的耐化学性,典型应用氖-全氟弹性体化合物PFE 7403WZ通常用于各种晶圆生产工艺。 |
技术参数 Technical Data | |||
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物理性能 PHYSICAL |
额定值 Nominal Value |
单位 Units |
测试方法 Test Method |
密度 Density |
2.11 | g/cm³ | 内部方法 |
机械性能 MECHANICAL |
额定值 Nominal Value |
单位 Units |
测试方法 Test Method |
邵氏硬度 Shore hardness |
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邵氏 A Shaw's A |
74 | ASTM D2240 | |
弹性体 elastic body |
额定值 Nominal Value |
单位 Units |
测试方法 Test Method |
拉伸强度 tensile strength |
10.6 | MPa | DIN 53504 |
100% 应变 100% strain |
4.70 | MPa | DIN 53504 |
拉伸应变 Tensile strain |
|||
断裂 fracture |
230 | % | DIN 53504 |
压缩形变 Compression deformation |
ASTM D395B | ||
200℃,70 hr 200℃,70 hr 2 |
% | ASTM D395B | |
316℃,70 hr 316℃,70 hr 3 |
% | ASTM D395B |
备注 |
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1 一般属性:这些不能被视为规格。 |
2 25% deflection |
3 18% deflection |
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