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牌号简介 About |
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一种深棕色高性能聚合物,含有独特的自增强聚合物结构,专门为关键半导体应用而开发。高纯度的聚合物加上不含任何填料,使得这种聚合物适用于涉及较低特征尺寸的工艺。这种材料的热膨胀系数低,压缩永久变形小,在腐蚀性等离子体环境中腐蚀率极低。关键属性非常纯净-不包含任何可能导致颗粒问题的填料。优异的抗等离子体性能-适用于氯、氟和氧化学。极低的等离子刻蚀速率、低的热膨胀回复适合现有的O型环槽(包括FKM和FFKM槽)、低渗透、低出气、低粘附(减少粘着力)、低摩擦、高强度和高模量,使K13X成为恒力动态应用的理想选择。典型应用动态密封静密封晶片搬运产品 A dark brown high performance polymer containing a unique self- reinforcing polymer structure, developed specifically for critical semiconductor applications. The high purity of the polymer combined with the absence of any fillers makes this polymer suitable for processes involving lower feature sizes. This material has a low coefficient of thermal expansion, low compression set and has an extremely low etch rate in aggressive plasma environments. Key Attributes Exceptionally pure - does not contain any fillers which may cause particulation problems. Outstanding plasma resistance - ideal for Chlorine, Fluorine & Oxygen chemistries. Exceptionally low plasma etch rate Low thermal expansion Retro-fits existing O-ring grooves (including FKM & FFKM grooves) Low permeation Low out-gassing Low adhesion (reduced sticking) Low friction, high strength and high modulus make K13X ideal for constant force dynamic applications. Typical Applications Dynamic seals Static seals Wafer-handling products |
技术参数 Technical Data | |||
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弹性体 elastic body |
额定值 Nominal Value |
单位 Units |
测试方法 Test Method |
拉伸强度 tensile strength |
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屈服 yield |
23.0 | MPa | ASTM D412 , ISO 37 |
100% 应变 100% strain |
13.8 | MPa | ASTM D412 , ISO 37 |
拉伸应变 Tensile strain |
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断裂 fracture |
160 | % | ASTM D412,ISO 37 |
压缩形变 Compression deformation |
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204℃,72 hr 204℃,72 hr |
28 | % | ASTM D395,ISO 815 |
热性能 THERMAL |
额定值 Nominal Value |
单位 Units |
测试方法 Test Method |
最高工作温度 Maximum operating temperature |
280 | ℃ | |
线性热膨胀系数 Linear coefficient of thermal expansion |
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机械性能 MECHANICAL |
额定值 Nominal Value |
单位 Units |
测试方法 Test Method |
邵氏硬度 Shore hardness |
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邵氏 A Shaw's A |
ASTM D2240 , ISO 7619 | ||
IRHD 硬度 IRHD hardness |
ASTM D1415 , ISO 48 | ||
摩擦系数 friction coefficient |
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静态@ 150℃/302°F Static @ 150 ℃/302 ° F |
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静态@ 室温,21℃/70°F Static @ room temperature, 21 ℃/70 ° F |
备注 |
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1 一般属性:这些不能被视为规格。 |
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