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近日,日本住友化学在其官网发布公告称,住友化学已决定加强其用于先进半导体工艺的光刻胶生产系统。除了在大阪工厂扩建浸没型ArF和EUV光刻胶生产线外,还计划通过其全资子公司Toyu Finechem(韩国东宇精细化学株式会社)在韩国全罗北道益山市建立一个新的ArF浸没型光刻胶生产工厂。

据悉,Toyu Finechem作为生产基地,已经进行了了20余年的i-line和KrF光刻胶生产。

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光刻胶产品(来源:住友化学官网)

住友化学表示,大阪工厂计划于2023财年上半年开始投产,东宇精细化学益山工厂计划于2024财年上半年开始投产。

光刻胶是用于在半导体制造过程中形成电路图案的光敏树脂。住友化学以在各种精细化工业务中积累的有机合成技术为基础,建立了先进的产品设计和评估技术,并以大阪工厂为中心,扩大了该业务。其中,浸没型ArF光刻胶在全球占有较高的市场份额。

自2019财年以来,由于5G数据通信的普及,市场对先进光刻胶的需求将不断增长,住友化学已在大阪工厂分阶段提高产能,同时还采取措施加强其开发和质量保证体系。通过大阪工厂的产能扩建和此次韩国新建工厂的举措,住友化学的ArF光刻胶产能到2024财年将提高至2019财年的2.5倍。

从住友化学扩产半导体光刻胶不难看出,半导体市场正处于高速发展期,我国也不例外。近年来,我国集成电路产业营收以10%的速度高速增长,ArF和EUV光刻胶需求也与日俱增,但是,光刻胶的突破速度和质量却远远跟不上,制约了我国半导体行业的发展。

国内虽然涌现了像南大光电、彤程新材这样的企业,在一定程度上缓解了光刻胶供不应求的局面,但是我国光刻胶行业仍然面临五大壁垒,亟待国产化。

1、纯度壁垒

无论是湿电子化学品还是光刻胶,纯度都是最核心的标准之一。

目前,国外的光刻胶阻抗可以做到10^15,国内基本上停留在10^10(阻抗越高纯度越高)光刻胶纯度不足会造成芯片良率下降,甚至污染事故。2019年台积电就因为光阻原料污染导致上万片12寸晶圆报废,直接损失达5.5亿美元。

2、原材料壁垒

影响光刻胶纯度的原因多种多样,但原材料一定占据核心位置。 

就拿光刻胶的溶剂来说,一款光刻胶,溶剂的含量占据光刻胶总质量的80%~90%,光刻胶最常使用的溶剂为丙二醇甲醚醋酸酯PMA),它具有很好的溶解性,性状稳定,适合将成膜树脂和光引光剂液化以便于旋转涂敷。 

目前,世界丙二醇醚及酯类产品的生产主要集中在美国、西欧及中国等国家和地区,主要是美国陶氏化学伊士曼化学,荷兰利安德巴塞尔,德国巴斯夫,这些国外企业从事丙二醇醚及其酯的工业化生产,这些企业深耕这一领域已有30多年的历史,拥有丰厚的技术经验,并不是国产企业可以一朝一夕能够拿下的。

3、专利壁垒

如今的光刻技术已经进入EUV时代,台积电、英特尔和三星纷纷积极导入EUV技术,与之对应的是EUV光刻胶的需求上升,与ArF浸没式光刻相比,EUV光刻技术有很高的图形保真度和设计灵活性,所需的光掩模数量很少,显示出明显的优势。 

但国产光刻胶企业想要突破它,不仅面临原材料、纯度等难题,还面临强大的专利壁垒。 

从全球EUV光刻胶专利的申请量上来看,1998年EUV光刻胶专利的申请量只有6件,此后十年间,大多数时候都是年平均两位数的申请量。从2010年开始的四年间,申请数量破百,并且持续增长,到2013年到达顶峰。当年的申请量有164件,此后又逐步回落至两位数,到2017年,EUV光刻胶专利的申请量只有15件。 

这一趋势说明,在本世纪前13年里,EUV光刻胶的技术在不断的进步,各大厂商都在积极探索EUV光刻胶技术,所以专利数才会不断上升,而在2013年之后,该项技术走向成熟,由此专利数量开始急剧减少。

4、规模壁垒

与半导体设计、半导体封测甚至晶圆产业相比,光刻胶是一个“小众”产业,而且光刻胶还分为显示面板用光刻胶和半导体用光刻胶,半导体用光刻胶的规模远小于面板用光刻胶。 

TECHCET的一份预测数据显示,2021年整个半导体用光刻胶的市场只有19亿美元的规模,但是,日本和美国的光刻胶企业几乎垄断了整个半导体用光刻胶市场。拿ArF光刻胶举例,日本的JSR、信越化学、东京应化、住友化学四家企业就占据了82%的市场份额,KrF光刻胶市场中,东京应化、信越化学、JSR和杜邦占据了85%的市场份额。 

并且从公司规模来看,光刻胶并不是这些的主营业务,光刻胶只是占据了其营收中极小的一部分。 

以信越化学为例,其2019年的营收大约为147亿美元,而当年的全球半导体光刻胶市场规模也才13亿美元左右,所以相比较之下,光刻胶并不是巨头们的最核心业务。 

与之相比的是,国内的光刻胶企业无论从技术还是规模上,都与巨头们有比较大的差距。南大光电和晶瑞股份是国内的光刻胶龙头企业,2019年,南大光电的营收为3.21亿元,净利润0.55亿元,同年晶瑞股份的营收为7.6亿元,净利润为0.31亿元,由此可见一斑。 

此外,由于光刻胶的应用环境复杂且多样,有时甚至需要针对每个工厂进行特别定制,很难标准化和模块化,光刻胶从研发成功到进入客户验证阶段,并被大规模使用,中间所需要的时间都是按照年为单位计算,一般情况下客户并不愿意轻易的更换光刻胶供应商。 

目前EUV光刻胶的市场几乎日本TOK、信越化学、JSR所占据。但不少其他光刻胶企业也在虎视眈眈。

2020年初,日经消息称,杜邦将扩建位于韩国中部天安市的现有工厂,生产EUV光刻胶。计划首先投入2800万美元,确立量产技术,最早于2021年启动量产投资。

2020年10月据日经亚洲评论报道,FUJIFILM和住友化学最早将于2021年开始供应下一代芯片制造的光刻胶。其中FUJIFILM将投资45亿日元用于日本静冈县的生产设备,该厂最早将于明年开始量产;住友化学计划在2022财年之前,为大阪的一家工厂投入从研发到生产的全部光刻胶产能。

2020年10月,据日经报道,日本信越化学将斥资约2.85亿美元在日本和中国台湾地区兴建工厂,其中台湾工厂预计于2021年2月开始量产,可生产与EUV光刻技术兼容的光刻胶。

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