牌号简介 About |
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一种红色/棕色高性能聚合物,含有独特的自增强聚合物结构,专门为侵略性半导体应用而开发。高纯度的聚合物加上不含任何填料,使得这种聚合物适用于涉及较低特征尺寸的工艺。这种材料的热膨胀系数低,压缩永久变形小,在腐蚀性等离子体环境中腐蚀率极低。关键属性非常纯净-不包含任何可能导致颗粒问题的填料。优异的抗等离子体性能-适用于氯、氟和氧化学。极低的等离子刻蚀率、低热膨胀回复适合现有的O型环槽(包括FKM和FFKM槽)低渗透、低出气、低粘附性(减少粘附)典型应用动态密封、静态密封、晶片处理产品 A red/brown high performance polymer containing a unique self- reinforcing polymer structure, developed specifically for aggressive semiconductor applications. The high purity of the polymer combined with the absence of any fillers makes this polymer suitable for processes involving lower feature sizes. This material has a low coefficient of thermal expansion, low compression set and has an extremely low etch rate in aggressive plasma environments. Key Attributes Exceptionally pure - does not contain any fillers which may cause particulation problems. Outstanding plasma resistance - ideal for Chlorine, Fluorine & Oxygen chemistries. Exceptionally low plasma etch rate Low thermal expansion Retro-fits existing O-ring grooves (including FKM & FFKM grooves) Low permeation Low out-gassing Low adhesion (reduced sticking) Typical Applications Dynamic seals Static seals Wafer-handling products |
技术参数 Technical Data | |||
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机械性能 MECHANICAL |
额定值 Nominal Value |
单位 Units |
测试方法 Test Method |
邵氏硬度 Shore hardness |
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邵氏 A Shaw's A |
68 | ASTM D2240 , ISO 7619 | |
IRHD 硬度 IRHD hardness |
67 | ASTM D1415 , ISO 48 | |
弹性体 elastic body |
额定值 Nominal Value |
单位 Units |
测试方法 Test Method |
拉伸强度 tensile strength |
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屈服 yield |
17.0 | MPa | ASTM D412 , ISO 37 |
100% 应变 100% strain |
8.00 | MPa | ASTM D412 , ISO 37 |
拉伸应变 Tensile strain |
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断裂 fracture |
170 | % | ASTM D412,ISO 37 |
压缩形变 Compression deformation |
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204℃,72 hr 204℃,72 hr |
% | ASTM D395,ISO 815 | |
热性能 THERMAL |
额定值 Nominal Value |
单位 Units |
测试方法 Test Method |
最高工作温度 Maximum operating temperature |
℃ | ||
线性热膨胀系数 Linear coefficient of thermal expansion |
备注 |
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1 一般属性:这些不能被视为规格。 |
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国庆节后北方地域苯乙烯供给量提升
2018-09-28 随着国庆长假到来,北方地区部分下游节前适量备货,整体的成交量有了一定提升,那么国庆节后,北方苯乙烯市场走势又将如何? 从供应面来看,国庆节后,北方地区苯乙烯供应量将提升 具体来看,山东地区:山东玉皇一期20万吨/年苯乙烯装置计划十一节后重启,而从排产计划来看,齐鲁石化10月份仍将维持高负荷运行,山东地区主力炼厂出货量有所提升。 东北地区:中石油东北旗下大庆石化两套共计22.5万吨/年苯乙烯装置8月1日起停车检 |
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