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牌号简介 About |
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Perlast® G75H采用了一种新的增强系统,该系统可产生一种合成清洁的化合物,用于最小颗粒生成,并具有优异的抗侵蚀性氧和氟基等离子体的能力。专门为等离子和气体沉积应用开发,包括灰化、蚀刻、HDPCVD、PECVD、SACVD。特别适用于需要暴露在最高320°C(608°F)的温度下且具有良好机械性能的应用。关键特性:优异的抗等离子体性能、高温稳定性、宽耐化学性、低出气性能,是真空应用的理想选择;超低金属离子含量、低热膨胀系数;优异的物理性能使G75H成为动态应用的理想选择。典型应用动态密封静态密封其他部件 Perlast® G75H incorporates a novel reinforcement system which produces a synthetically clean compound formulated for minimum particle generation combined with excellent resistance to aggressive oxygen and fluorine based plasmas. Specially developed for Plasma and Gas Deposition applications including ashing, etching, HDPCVD, PECVD, SACVD. Particularly suited for use in applications which require exposure to temperatures of up to 320°C (608°F) combined with excellent mechanical properties. Key Attributes Excellent plasma resistance High temperature stability Wide chemical resistance Low out-gassing properties making it ideal for vacuum applications Ultra low metal ion content Low coefficient of thermal expansion Outstanding physical properties make G75H ideal for dynamic applications. Typical Applications Dynamic seals Static seals Other components |
技术参数 Technical Data | |||
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机械性能 MECHANICAL |
额定值 Nominal Value |
单位 Units |
测试方法 Test Method |
邵氏硬度 Shore hardness |
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邵氏 A Shaw's A |
80 | ASTM D2240 | |
IRHD 硬度 IRHD hardness |
74 | ASTM D1415 , ISO 48 | |
弹性体 elastic body |
额定值 Nominal Value |
单位 Units |
测试方法 Test Method |
拉伸强度 tensile strength |
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屈服 yield |
18.1 | MPa | ASTM D412 , ISO 37 |
100% 应变 100% strain |
9.00 | MPa | ASTM D412 , ISO 37 |
拉伸应变 Tensile strain |
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断裂 fracture |
220 | % | ASTM D412,ISO 37 |
压缩形变 Compression deformation |
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200℃,72 hr 200℃,72 hr |
% | ASTM D395,ISO 815 | |
热性能 THERMAL |
额定值 Nominal Value |
单位 Units |
测试方法 Test Method |
最高工作温度 Maximum operating temperature |
℃ | ||
线性热膨胀系数 Linear coefficient of thermal expansion |
备注 |
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1 一般属性:这些不能被视为规格。 |
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