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| 牌号简介 About |
|---|
| 一种棕色高性能聚合物，含有独特的自增强聚合物结构，专门为侵略性半导体应用而开发。高纯度的聚合物加上不含任何填料，使得这种聚合物适用于涉及较低特征尺寸的工艺。这种材料的热膨胀系数低，压缩永久变形小，在腐蚀性等离子体环境中腐蚀率极低。Kimura® K23X可完全铸造成定制形状和O型环（从6.07mm/0.24“ID和1.78mm/0.07”CS到600 mm/23.6“ID和10 mm/0.39”CS）。关键属性非常纯净-不包含任何可能导致颗粒问题的填料。低模量确保优良的密封特性，优异的抗等离子体性能-是氯、氟和氧化学的理想选择。极低的等离子刻蚀率、低热膨胀回复适合现有的O型环槽（包括FKM和FFKM槽）低渗透、低出气、低粘附性（减少粘附）典型应用动态密封、静态密封、晶片处理产品 A brown coloured high performance polymer containing a unique self- reinforcing polymer structure, developed specifically for aggressive semiconductor applications. The high purity of the polymer combined with the absence of any fillers makes this polymer suitable for processes involving lower feature sizes. This material has a low coefficient of thermal expansion, low compression set and has an extremely low etch rate in aggressive plasma environments. Kimura® K23X can be fully moulded into custom shapes and O-rings (from 6.07mm/0.24" ID & 1.78mm/0.07" CS up to 600mm/23.6" ID & 10mm/0.39" CS). Key Attributes Exceptionally pure - does not contain any fillers which may cause particulation problems. Low modulus ensures excellent sealing characteristics Outstanding plasma resistance - ideal for Chlorine, Fluorine & Oxygen chemistries. Exceptionally low plasma etch rate Low thermal expansion Retro-fits existing O-ring grooves (including FKM & FFKM grooves) Low permeation Low out-gassing Low adhesion (reduced sticking) Typical Applications Dynamic seals Static seals Wafer-handling products |
产品描述 Product Description
用途：阀门/阀门部件;电气/电子应用领域;密封件;配件;
颜色：褐色
性能特点： 低VOC; 高纯度; 热膨胀系数低; Low CLTE,High purity,Low odor
| 技术参数 Technical Data | |||
|---|---|---|---|
|
机械性能 MECHANICAL |
额定值 Nominal Value |
单位 Units |
测试方法 Test Method |
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邵氏硬度 Shore hardness |
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邵氏 A Shaw's A |
70 | ASTM D2240 , ISO 7619 | |
|
IRHD 硬度 IRHD hardness |
70 | ASTM D1415 , ISO 48 | |
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弹性体 elastic body |
额定值 Nominal Value |
单位 Units |
测试方法 Test Method |
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拉伸强度 tensile strength |
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屈服 yield |
12.0 | MPa | ASTM D412 , ISO 37 |
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100% 应变 100% strain |
6.70 | MPa | ASTM D412 , ISO 37 |
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拉伸应变 Tensile strain |
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断裂 fracture |
150 | % | ASTM D412，ISO 37 |
|
压缩形变 Compression deformation |
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|
204℃，72 hr 204℃，72 hr |
% | ASTM D395，ISO 815 | |
|
热性能 THERMAL |
额定值 Nominal Value |
单位 Units |
测试方法 Test Method |
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最高工作温度 Maximum operating temperature |
℃ | ||
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线性热膨胀系数 Linear coefficient of thermal expansion |
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| 备注 |
|---|
| 1 一般属性：这些不能被视为规格。 |
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