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牌号简介 About |
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在许多蚀刻室环境中,对充氧等离子体的保护是关键。这些恶劣的环境通常会破坏不耐腐蚀的材料,导致有害的颗粒物,最终导致有缺陷的芯片。格林,特威德的Chemraz XPE是高度耐氧等离子体,可用于广泛的应用,如狭缝阀门,反应室盖密封和闸门阀密封。这种先进的弹性材料为半导体和太阳能工业提供了一种替代传统产品的方法,这种产品在氧气环境中会迅速腐蚀。该材料对02和CF4等离子体都有很好的抵抗力,可提高芯片产量并最大限度地提高产量。此外,XPE密封件为客户提供了更高的MTBR(平均维修间隔时间),以减少停机时间和维护成本。 Protection against oxygen-infused plasma is key in many etch chamber environments. These harsh environments often breakdown non-resistant materials, causing harmful particulation and, ultimately, defective chips. Greene, Tweed's Chemraz® XPE is highly resistant to O2 plasma and can be used in a wide range of applications, such as slit valve doors, reaction chamber lid seals, and gate valve seals. This advanced elastomeric material offers the semiconductor and solar industry an alternative to legacy products that quickly erode in the oxygen environment. With excellent resistance to both 02 and CF4 plasmas, this material affords an increased chip yield and maximized production. In addition, XPE seals provide customers with an increased MTBR (mean time between repair) to reduce downtime and maintenance costs. |
技术参数 Technical Data | |||
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物理性能 PHYSICAL |
额定值 Nominal Value |
单位 Units |
测试方法 Test Method |
密度 Density |
2.12 | g/cm³ | ASTM D792 |
机械性能 MECHANICAL |
额定值 Nominal Value |
单位 Units |
测试方法 Test Method |
邵氏硬度 Shore hardness |
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邵氏 A Shaw's A |
73 | ASTM D2240 | |
洛氏硬度 Rockwell hardness |
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M 级 M-level |
76 | ASTM D1414 | |
弹性体 elastic body |
额定值 Nominal Value |
单位 Units |
测试方法 Test Method |
拉伸强度 tensile strength |
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断裂 fracture |
13.3 | MPa | ASTM D1414 |
100% 应变 100% strain |
3.63 | MPa | ASTM D1414 |
拉伸应变 Tensile strain |
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断裂 fracture |
% | ASTM D1414 | |
压缩形变 Compression deformation 2 |
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204℃,70 hr 204℃,70 hr |
% | ||
240℃,70 hr 240℃,70 hr |
% | ||
热性能 THERMAL |
额定值 Nominal Value |
单位 Units |
测试方法 Test Method |
使用温度 Operating temperature |
℃ |
备注 |
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1 一般属性:这些不能被视为规格。 |
2 25% Deflection |
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