牌号简介 About |
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一种半透明的米色化合物,含有半晶体全氟聚合物纳米填料,专门开发以满足半导体和生物分析行业的需求。与氟基化学相容,普遍适用于干湿半导体工艺,包括光刻、等离子、PVD、CVD、蚀刻、剥离和清洗。Perlast® G67P将全氟化聚合物主链、全氟化纳米填料系统(无无机填料)和高氟化交联工艺结合在一起,形成了纯度和耐化学性无与伦比的全氟弹性体。Perlast® G67P的压缩模量明显低于传统的全氟弹性体,使其具有很高的顺应性。因此,对于给定的压缩力,它表现出较低的反作用力,这会降低密封件上的应力,从而延长预期寿命。关键属性非常纯净-不含任何可能导致颗粒问题的无机填料。优异的耐化学性和耐温性。优异的机械性能。极低的出气性能使其成为真空密封应用的理想选择。密封效率高。高材料合规性降低了表面渗透。减少了第一晶圆效应。更低的拥有成本。典型应用动态密封静密封晶片搬运产品 A translucent beige compound with semi-crystalline perfluoropolymer nano-filler, specially developed to meet the demands of the semiconductor and bio-analytical industries. Compatible with fluorine based chemistries and universally suitable for both wet and dry semiconductor processes including Lithography, Plasma, PVD, CVD, Etch, Stripping and Cleaning. Perlast® G67P combines a fully fluorinated polymer backbone, a fully fluorinated nano-filler system (no inorganic fillers) and a highly fluorinated cross-linking process, which results in a perfluoroelastomer with unrivalled purity and chemical resistance. Perlast® G67P has a significantly lower compressive modulus than traditional perfluoroelastomers, making it highly compliant. So for a given compression, it exhibits a low reaction force, this results in lower stress on the seal, which leads to longer life expectancy. Key Attributes Exceptionally pure - does not contain any inorganic fillers which may cause particulation problems. Excellent chemical and temperature resistance. Excellent mechanical properties. Extremely low out-gassing properties making it ideal for vacuum sealing applications. High sealing efficiency. High material compliance reduces surface permeation. Reduced first wafer effect. Lower cost of ownership. Typical Applications Dynamic seals Static seals Wafer-handling products |
技术参数 Technical Data | |||
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机械性能 MECHANICAL |
额定值 Nominal Value |
单位 Units |
测试方法 Test Method |
邵氏硬度 Shore hardness |
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邵氏 A Shaw's A |
63 | ASTM D2240 , ISO 7619 | |
IRHD 硬度 IRHD hardness |
60 到 70 | ASTM D1415 , ISO 48 | |
弹性体 elastic body |
额定值 Nominal Value |
单位 Units |
测试方法 Test Method |
拉伸强度 tensile strength |
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屈服 yield |
18.3 | MPa | ASTM D412 , ISO 37 |
100% 应变 100% strain |
3.45 | MPa | ASTM D412 , ISO 37 |
拉伸应变 Tensile strain |
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断裂 fracture |
330 | % | ASTM D412,ISO 37 |
压缩形变 Compression deformation |
ASTM D395 , ISO 815 | ||
200℃,24 hr 200℃,24 hr |
% | ASTM D395,ISO 815 | |
204℃,70 hr 204℃,70 hr |
% | ASTM D395,ISO 815 | |
热性能 THERMAL |
额定值 Nominal Value |
单位 Units |
测试方法 Test Method |
最高工作温度 Maximum operating temperature |
℃ | ||
线性热膨胀系数 Linear coefficient of thermal expansion |
备注 |
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1 一般属性:这些不能被视为规格。 |
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